產品介紹
本純化器采用OW流程對氮氣進行純化，原料氮氣進入純化器后，經過O(催化氧化)流程，利用高溫貴金屬催化劑特性，可將氮氣中的雜質H₂，CO，CH4等雜質轉化為H₂O，CO₂，再經過W(常溫吸附反應器)，可有效的吸附O₂ , H₂O, CO₂等雜質，床層吸附飽和后，通入氫氣進行再生。常溫吸附反應器為一開一備設計，可實現連續工作。

OW流程

工藝流程
催化劑脫除O₂、H₂、CO、THC；
吸附劑脫除O₂、CO₂、H₂O
吸附反應器吸附飽和后通氫加熱再生，雙塔切換，連續供氣

應用領域
半導體、LED、激光、太陽能光伏行業
光纖行業
集成電路制造行業
高純氣體分析

產品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術，化學吸附雙效協同，雜質深度≤1 ppb。
2.高穩定性設計
★ 采用國際知名品牌元件；Swagelok全自動軌道焊接 ，采用先進的防爆策略，確保裝置安全、穩定運行
3.強抗波動性能
★ 按協議值120%冗余設計，工況波動下氣態指標穩定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯運維
★ 全流程自動運行+遠程監控
★ 故障預警聯動+運行數據追溯系統

技術參數