產品介紹
本純化器采用WX流程對氫氣進行純化,原料氫氣進入純化器后,經過常溫吸附流程可初步將H
2O, O
2,CO
2,CO脫除至10ppb以下,床層吸附飽和后,進行再生,常溫吸附反應器為一開一備設計,可實現連續工作。再經過高溫吸附流程將氫氣中的H
2O,O
2,CO,CO
2,CH
4,N
2等雜質脫除至1ppb以下。
WX流程
工藝流程
吸氣脫除CO
2、O
2、N
2、CO、THC、H
2O;
吸附劑脫除O
2、CO
2、H
2O
吸附反應器吸附飽和后通氫加熱再生,雙塔切換,連續供氣
吸氣反應器吸附飽和后無法再生、整體更換
應用領域
半導體、LED、激光、太陽能光伏行業
光纖行業
集成電路制造行業
高純氣體分析
產品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術,化學吸附雙效協同,雜質深度≤1 ppb。
2.超長壽命設計
★ 采用國際知名品牌元件;Swagelok全自動軌道焊接 ,采用先進的防爆策略,保證產品安全、穩定運行。
★ 催化劑壽命≥3年 | 整機運行≥15年
3.強抗波動性能
★ 按協議值120%冗余設計,工況波動下氣態指標穩定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯運維
★ 全流程自動運行+遠程監控
★ 故障預警聯動+運行數據追溯系統
技術參數