產品介紹
本純化器采用OW流程對氧氣進行純化,原料氧氣進入純化器后,利用高溫貴金屬催化劑特性,可將氧氣中的雜質H
2,CO,CH
4,NMHC等雜質轉化為H
2O,CO
2,再經過W(常溫吸附反應器),將原料氣中的H
2O, CO
2等雜質脫除。床層吸附飽和后進行升溫再生,常溫吸附反應器為一開一備設計,可實現連續工作。
OW流程
工藝流程
催化劑脫除H
2、CO、THC
吸附劑脫除CO
2、H
2O
吸附反應器吸附飽和后通氧加熱再生,雙塔切換,連續供氣
應用領域
半導體、LED、激光、太陽能光伏行業
光纖行業
集成電路制造行業
高純氣體分析
產品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術,化學吸附雙效協同,雜質深度≤1 ppb。
2.超長壽命設計
★ 采用國際知名品牌元件;Swagelok全自動軌道焊接 ,采用先進的防爆策略,保證產品安全、穩定運行。
★ 催化劑壽命≥3年 | 整機運行≥15年
3.強抗波動性能
★ 按協議值120%冗余設計,工況波動下氣態指標穩定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯運維
★ 全流程自動運行+遠程監控
★ 故障預警聯動+運行數據追溯系統
技術參數