產品介紹
本純化器采用XX流程對氬氣、氦氣進行純化，原料氬氣、氦氣進入純化器后，經過高溫GETTER反應器將氬氣、氦氣中的H₂O，O₂，CO，CO₂，CH₄，N₂,NMHC等雜質脫除至1ppb以下，流經冷卻系統降至常溫再進入低溫GETTER反應器將H₂雜質脫除。

XX流程

工藝流程
高溫吸氣劑脫除CO₂、O₂、N₂、CO、THC、H₂O
低溫吸氣劑脫除H₂
吸氣反應器吸附飽和后無法再生，整體更換

應用領域
半導體、LED、激光、太陽能光伏行業
光纖行業
焊接行業
集成電路制造行業
高純氣體分析

產品特點
1.超高精度凈化
★ 專利催化劑技術，化學吸附雙效協同，雜質深度≤1 ppb。
2.高穩定性設計
★ 采用國際知名品牌元件；Swagelok全自動軌道焊接 ，采用先進的防爆策略，確保裝置安全、穩定運行
3.強抗波動性能
★ 按協議值120%冗余設計，工況波動下氣態指標穩定輸出。
4.抗意外能力強
純化裝置具有斷電保持功能。
5.智慧物聯運維
★ 全流程自動運行+遠程監控
★ 故障預警聯動+運行數據追溯系統

技術參數